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Overview
半導体製造プロセスや製造装置の歩留まり向上と市場投入までの時間短縮を行うために、さまざまな物理的現象や相互作用を予測できるマルチフィジックス・シミュレーションを活用した正確な設計と最適化が必要です。 コンタミネーションから製品の均一な仕上がりまでの様々なプロセスに影響する要因をシミュレーションすることが出来、エンジニアは半導体製造における最適化プロセスや最先端のソリューションのための革新的なアイデアを生み出すことが可能です。
What you will learn
- 製造(ファブリケーション)工程におけるシミュレーションの重要性
- ウェハのサイクルタイムを短縮
- 製造工程をAnsysのツールを用いてモデル化
- 製造工程の最適化 ・製造工程のシステムレベルでのモデル化
推奨する参加者
- エンジニア及びエンジニアリングマネージャ、取締役等
- 製造チーム、エッチングチーム、成膜チーム、NPI(新製品導入)チーム、アフターサービスチーム
